[发明专利]一种版图边界图案的修正方法与修正系统有效
| 申请号： | 202011095237.4 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112015058B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 赵广;罗招龙;朱安康;魏来 | 申请（专利权）人： | 南京晶驱集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林凡燕 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市栖霞区迈*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种版图边界图案的修正方法与修正系统，包括：预设一版图参数，其中，所述版图参数包括图案尺寸的模拟目标值；进行划分步骤，将版图划分成多个子版图；对任一所述子版图的边界图案进行修正，并记录修正次数，以获得所述图案尺寸的模拟实际值；判断所述图案尺寸的模拟实际值与所述图案尺寸的模拟目标值的差值是否处于阈值内；若是，则根据所述修正次数，对其他所述子版图的边界图案进行修正；若否，则建立修正曲线，并根据所述修正曲线选择修正次数区间，并根据所述修正次数区间内的修正次数对所述子版图的边界图案再次进行修正。本发明提出的版图边界图案的修正方法可以提高修正效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 版图 边界 图案 修正 方法 系统 | ||
【主权项】：
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