[发明专利]应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器及制造方法在审
| 申请号： | 202011083968.7 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112051641A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 冯吉军;刘海鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州科沃微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/126 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 倪继祖 |
| 地址： | 215431 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，包括：硅基衬底；沉积在所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；位于所述二氧化硅缓冲层上的TE直通段芯层；位于所述二氧化硅缓冲层上的TM耦合段芯层；位于所述二氧化硅缓冲层上，并包覆所述TE直通段芯层和所述TM耦合段芯层的二氧化硅包层。整体结构尺寸小且紧凑、耦合效率高、消光比高、插入损耗低且带宽大。本发明还公开了倾斜光栅式偏振分束器的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 狭缝 波导 结构 倾斜 光栅 偏振 分束器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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