[发明专利]空隙检测方法及装置在审

专利信息
申请号: 202011066110.X 申请日: 2020-09-30
公开(公告)号: CN112180460A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 秦衡;李碧洲;纪秀范;尹雪露 申请(专利权)人: 艾普柯微电子(江苏)有限公司
主分类号: G01V8/20 分类号: G01V8/20;G01J1/02
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 武娜
地址: 214135 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供一种空隙检测方法及装置。本申请中,空隙检测方法,应用于空隙检测装置,空隙检测装置包括N个感光芯片,N个感光芯片沿第一方向排列,N为大于1的整数,所述方法,包括:获取N个感光芯片采集的N个第一光强值;比较N个第一光强值,获取N个第一光强值中最大的M个第一光强值;M为正整数;确定采集最大的M个第一光强值的M个感光芯片的第一位置信息;根据M个感光芯片的第一位置信息获取空隙的第二位置信息。本申请的实施例,可以提高空隙检测的精度,同时,可以降低空隙检测的成本。
搜索关键词: 空隙 检测 方法 装置
【主权项】:
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