[发明专利]刻蚀机用气体喷淋盘的加工工艺在审
| 申请号： | 202011062043.4 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112192154A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 贾昆良 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23K15/06;B23K37/04 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) 32219 | 代理人： | 陈秀兰 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了刻蚀机用气体喷淋盘的加工工艺，包括以下操作步骤；步骤一，设计并加工焊接工装；步骤二，分别加工气体喷淋盘的顶板，进气管，匀流板,底板；其中底板外形留工艺台阶，并加工出定位销孔及装夹用螺纹孔；步骤三，焊接顶板及进气管；步骤四，焊接匀流板；步骤五，利用焊接工装焊接底板；所述的焊接均采用电子束焊，电子束焊的加速电压设置为60KV，电子束电流设置为25A，焊接速度设置为18‑22mm/s，对焦方式设置为表面焦。本发明工艺简单，便于操作，大大提高了产品的一次合格率，减少了返修概率，降低了加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 气体 喷淋 加工 工艺 | ||
【主权项】：
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