[发明专利]一种可调光学滤波器件有效
| 申请号： | 202011042805.4 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN111880257B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 郭斌;黄锦标 | 申请（专利权）人： | 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/00 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区新安街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调光学滤波器件，器件包括两片具有光学镜面的衬底，两片具有光学镜面的衬底相对设置以在光学镜面之间形成腔体，相对设置的衬底的外围设置压电执行器，器件还包括设置在所述衬底上下两侧的支撑结构，压电执行器和衬底分别被键合到所述支撑结构上。具有光学镜面的衬底与压电执行器的组装是在一定温度和一定压力下的环境下，键合物有机材料发生形变以实现与压电执行器的组装，低于具有光学镜面的衬底机械强度的支撑结构，确保在组装完成后具有光学镜面的衬底具有较高的平整度，而且不需要极厚的衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 光学 滤波 器件 | ||
【主权项】：
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