[发明专利]基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置及检测方法有效

专利信息
申请号: 202011038837.7 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN112197714B 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 张宇 申请(专利权)人: 东北电力大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;G01B11/00
代理公司: 吉林市达利专利事务所 22102 代理人: 陈传林
地址: 132012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置及检测方法,属于光学测量技术领域,解决单一共焦技术无法同时实现高轴向分辨率和大测量范围自由曲面的测量,及普通扫描方式无法同时实现高精度和快速扫描的技术难题,在差动共焦技术的基础上引入彩色共焦技术,保证了差动共焦技术高轴向分辨率的同时,大大地增加了测试范围,利用两个面阵彩色光电探测器分别采集焦点前和焦点后的R、G和B三色光强分布,通过差动计算得到被测自由曲面的轴向坐标,测试中小孔阵列板实现了快速高精度面扫描,如需增加横向分辨率,只需利用压电陶瓷横向移动待测曲面即可实现。
搜索关键词: 基于 差动 彩色 技术 自由 曲面 测量 装置 检测 方法
【主权项】:
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