[发明专利]电子生成装置和电离真空计在审
申请号: | 202010980112.3 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN112525419A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 齐藤典行;饭塚求磨;千田英里子 | 申请(专利权)人: | 佳能安内华股份有限公司 |
主分类号: | G01L21/30 | 分类号: | G01L21/30;G01R19/165;G01R27/16 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 宋岩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了电子生成装置和电离真空计。电子生成装置包括:灯丝;电源,被配置成向灯丝供应电力以便使灯丝发射电子;以及控制器,被配置成重复地检测与从电源供应到灯丝的电力具有相关性的值、通过使用检测到的多个值来确定灯丝的状态是否满足通知条件,并且在该状态满足通知条件时执行通知。 | ||
搜索关键词: | 电子 生成 装置 电离 真空计 | ||
【主权项】:
暂无信息
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