[发明专利]一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置在审

专利信息
申请号: 202010979616.3 申请日: 2020-09-17
公开(公告)号: CN111970807A 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 夏道路;张贵新;揭子尧;刘程 申请(专利权)人: 清华苏州环境创新研究院;清华大学
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24;H05H1/46
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 范晴
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置,包括微波发生器、微波波导管、非金属放电管,还包括高压电源、金属电极和气旋装置,微波发生器发射微波,在微波波导管内产生微波电场;非金属放电管固定在微波波导管内;高压电源连接两根金属电极;两根金属电极对称弯折分布在气旋装置中;气旋装置出风口与非金属放电管的一端相对。所述两根金属电极的端部未伸入到微波波导管内部。所述非金属放电管的一端固定在气旋装置表面,另一端伸出至微波波导管外。本发明基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置,激发成功率高、激发稳定、装置简单、使用方便,且能够实现大气压下微波等离子体的激发和维持,能够大规模应用于工业生产中。
搜索关键词: 一种 基于 滑动 放电 激发 微波 等离子体 装置
【主权项】:
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