[发明专利]一种三轴光栅尺有效
| 申请号： | 202010978240.4 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113701640B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 韦春龙;周常河 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明三轴光栅尺包括三轴测量光束产生单元、X轴测量光束探测单元、Y轴测量光束探测单元、Z轴测量光束探测单元和信号采集及处理器。三轴测量光束产生单元，包括偏振准直激光光源、分束用二维衍射光栅、第一准直物镜、偏振棱镜组件、第二准直物镜和测量用二维衍射光栅。分束用二维衍射光栅和测量用二维衍射光栅是二维正交对称，各自两维度栅距相等。X，Y轴测量光束产生光路具有2倍光学细分及光学差分特性，精度高，安装容差大；测量光束产生单元光路与测量光束探测单元光路，共同构成一体的三维位移测量零差光栅干涉仪，结构紧凑，成本低，并且避免了不满足正交和共交点所导致的阿贝误差和余弦误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅尺 | ||
【主权项】：
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