[发明专利]曝光机除尘装置有效
| 申请号： | 202010971805.6 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112269302B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 松田政昭;星一成 | 申请（专利权）人： | 上海光起电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 乔建;宋缨 |
| 地址： | 201702 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种曝光机除尘装置，包括除尘辊、粘附带支架和粘附带剥离机构，粘附带支架可回转地支承粘附带卷筒，粘附带支架与除尘辊之间可相对移动使得粘附带卷筒最外层的粘附带能够与除尘辊接触，粘附带卷筒与除尘辊之间能够相对滚动，粘附带剥离机构包括粘附带卷取机构、剥离胶带支承部件和推压机构，剥离胶带支承部件可回转地支承剥离胶带卷筒且剥离胶带通过粘附带卷取机构牵引卷绕，推压机构能够将剥离胶带支承部件与粘附带卷取机构之间的剥离胶带推压至与最外层粘附有尘埃的粘附带接触粘结并将其从粘附带卷筒上剥离拉出。本发明能够实现粘附带的自动剥离换新，能够防止运行时灰尘进入到曝光机内部，提升曝光机工作时内部温度和压力的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 除尘 装置 | ||
【主权项】：
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