[发明专利]一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉在审
申请号: | 202010970707.0 | 申请日: | 2020-09-16 |
公开(公告)号: | CN112080795A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 杨金海 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王家蕾 |
地址: | 314413 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,包括:上炉体或隔离阀;防晶棒掉落夹持装置,若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上,防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块,驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连,在驱动机构的驱动下,夹紧块沿着上炉体或者隔离阀轴线的方向伸缩。本发明具有机构简单、维护方便、可靠性高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 防晶棒 掉落 操作方法 带防晶棒 夹持 装置 晶体生长 | ||
【主权项】:
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