[发明专利]一种用于光学镜面平行度与同轴度的非接触式测量与调整方法在审

专利信息
申请号: 202010964636.3 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN112304253A 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 王皓;吕嗣鸿;曹宇 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01B11/27 分类号: G01B11/27;G01M11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种用于光学镜面平行度与同轴度的非接触式测量与调整方法,其方法通过使用激光测距传感器,和一种特殊设计的反光翅片,通过使被测镜片进行平面位移的方式,对被测镜片的平行度与同轴度进行闭环测量与调整。将该方案运用于某种光学设备上,进行预调平和同轴调整后,便能通过此技术使得光学设备对镜片拥有完整的闭环测量与调整的能力,使得被测镜片与基准镜片间保持平行和一定的轴间距关系。
搜索关键词: 一种 用于 光学 平行 同轴 接触 测量 调整 方法
【主权项】:
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