[发明专利]一种基于聚焦超声控制SMP印章的微转印方法及其装置在审
| 申请号： | 202010959628.X | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN114179537A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张力;王明阳;田丰;郝博 | 申请（专利权）人： | 东北大学秦皇岛分校 |
| 主分类号： | B41M3/00 | 分类号： | B41M3/00;B41K1/02;B41K1/36;G05D23/20 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 姜司晨 |
| 地址： | 066000 河北省秦*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于聚焦超声控制SMP印章的微转印方法及其装置，该方法包括部署调试阶段、剥离阶段、打印阶段，具体步骤为：部署能量发生装置、转印载体及调试控制系统；将超声能量作用于SMP印章并使其与微电子器件接触，在界面粘附力作用下将本置于源基体上的微电子器件剥离；再次将超声能量作用于SMP印章使其发生形变回复，从而微电子器件被打印至目标基体上；该方法增强了转印过程可控性、提高了微转印质量和效率；所述微转印装置包括：能量发生装置、能量控制系统、转印载体系统、目标基体、源基体，该装置结构简单成本低，用超声换能器非接触加热，可适应复杂结构转印，采用水作为超声波的传递介质，能量损耗小、清洁环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 聚焦 超声 控制 smp 印章 微转印 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东北大学秦皇岛分校，未经东北大学秦皇岛分校许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010959628.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
