[发明专利]一种低温下的微波器件S参数测量装置和测量方法有效
申请号: | 202010944513.3 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112162184B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 金骏达;史生才 | 申请(专利权)人: | 中国科学院紫金山天文台 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 金子娟 |
地址: | 210023 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种低温下的微波器件S参数测量装置和测量方法,所述测量装置包括网络分析仪和校准件,其特征在于还设有杜瓦罐、温度传感器和温度监测仪、低温微波开关和微波开关控制器、上位机。其中,校准件、低温微波开关和温度传感器安置在杜瓦罐内;网络分析仪、温度监测仪、微波开关控制器和上位机均安置在杜瓦罐外。基于本发明测量装置,可以在低温下实施SOLT和TRL两种校准方法,通过这两种校准方法可自动扣除低温下辅助测量器件的影响,精确地测出低温下待测微波器件的S参数,并利用两种校准方法获得的测量结果相互验证,判断其测量结果的准确性。同时,本发明测量装置还具有结构合理,稳定可靠的优点,适合推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 低温 微波 器件 参数 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】:
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