[发明专利]一种靶材组件中背板的抛光工艺在审
| 申请号： | 202010937075.8 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112077674A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;刘明健 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B21/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶材组件中背板的抛光工艺，所述抛光工艺包括对靶材背板依次进行第一机械抛光和第二机械抛光；所述第一机械抛光中所用砂带为600#的不织布环带；所述第二机械抛光中所用砂带为240#的不织布环带。本发明通过对抛光工艺的设计，采用不同的砂带及特定的抛光顺序实现了表面污物的去除，同时延长了背板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 背板 抛光 工艺 | ||
【主权项】：
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