[发明专利]基于折纸结构的双V型梁无源无线温度传感器有效
申请号: | 202010932744.2 | 申请日: | 2020-09-08 |
公开(公告)号: | CN112033563B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 韩磊;陈立军 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01K7/34 | 分类号: | G01K7/34;G01K5/68 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 沈廉 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于折纸结构的双V型梁无源无线温度传感器,该温度传感器包括基板(1)、第一金属极板(2)、第二金属极板(3)、折纸结构梁(4)、第一折叠薄膜结构(5)、第二折叠薄膜结构(6)、第三折叠薄膜结构(7)、第四折叠薄膜结构(8)、第一V型梁(91)、第二V型梁(92)、第三V型梁(101)、第四V型梁(102)、第一V型梁锚区(11)、第二V型梁锚区(12)、第三V型梁锚区(13)、第四V型梁锚区(14)、平面电感(15)。采用了基于折纸原理的折叠薄膜结构,进一步提高了器件的灵敏度;利用了LC谐振回路的无源无线技术,使得该器件功耗低、易于测量,同时还具有结构简单、成本低、工艺兼容等优势。 | ||
搜索关键词: | 基于 折纸 结构 无源 无线 温度传感器 | ||
【主权项】:
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