[发明专利]一种ITO平面靶材超声波清洗架及其制造方法在审
| 申请号： | 202010932280.5 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112191610A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 文宏福;蔡良 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;B26D1/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及ITO靶材生产设备技术领域，公开了一种ITO平面靶材超声波清洗架，包括底板和竖向连接于所述底板上的支撑架，所述支撑架包括相互平行设置的第一支撑架、第二支撑架，所述第一支撑架、第二支撑架上设有竖向的凸齿，相邻的所述凸齿之间形成用于支撑ITO平面靶材的夹持间隙。本发明还提供一种上述的ITO平面靶材超声波清洗架的制造方法，包括制造一厚200mm、长280mm、宽180mm的长方体塑料块A；对塑料块A切割，制得具有底板、两竖向连接在所述底板的对边上的支撑板的塑料架A，底板厚5mm，支撑板厚15mm、长280mm、宽180mm；对支撑板从长度方向开始每间隔30mm，切割去除一高180mm、宽15mm、长20mm的缺口，即得清洗架。本发明能够制造降低生产ITO靶材的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 平面 超声波 清洗 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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