[发明专利]一种防腐耐磨的多组元硬质复合涂层的制备方法有效
申请号: | 202010922582.4 | 申请日: | 2020-09-04 |
公开(公告)号: | CN112080724B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 李海涛;陈宜;程东海;刘泽民;邓黎鹏;王德;白杨 | 申请(专利权)人: | 南昌航空大学 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/48;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34 |
代理公司: | 南昌洪达专利事务所 36111 | 代理人: | 刘凌峰 |
地址: | 330000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种防腐耐磨多组元硬质复合涂层的制备方法,以提高基体材料的使用寿命,解决基体材料硬度低、不耐磨、不耐蚀的问题,方法:一、基体的前处理;二、镀层前准备;三、离子注入氮化层的制备;四、ZrAl层的制备;五、ZrAlN层的制备;六、TiSiAlZrN层的制备;七、TiSiAlZrCN层的制备,本发明将离子注入与磁控溅射技术结合,将直流电源、偏压电源和脉冲电源结合在一起制备复合涂层,简单,制备周期短,沉积效率高,涂层与基体结合强度高,涂层致密,性能优异,这对于镁合金、高速钢、钛合金等多种基体表面性能的提高以及扩大基体材料的应用,减少磨损和腐蚀消耗,节约资源等方面有着重要意义和前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 防腐 耐磨 多组元 硬质 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】:
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