[发明专利]一种基于飞秒激光大幅面微纳制造的双光束干涉系统有效
| 申请号： | 202010919419.2 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112108759B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 王文君;陈玉虎;梅雪松;崔健磊;张祎霖;李国基 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/14;B23K26/70 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于飞秒激光大幅面微纳制造的双光束干涉系统，包括防震平台上连接的飞秒激光器以及冷却发生装置、激光扩束系统、准直校正系统、激光光场初始化调制系统、激光光束整形系统以及飞秒激光双光束干涉光学系统；在飞秒激光双光束干涉光学系统正下方设置有可控四位点高精度移动平台，可控四位点高精度移动平台与准直校正系统通过工控机集成控制系统控制；飞秒激光器以及冷却发生装置发出的激光依次经过激光扩束系统、准直校正系统、激光光场初始化调制系统、激光光束整形系统以及飞秒激光双光束干涉光学系统对可控四位点高精度移动平台上的基底进行加工；本发明高效率、高质量地制备大面积周期性微纳结构，提高表面结构的均一性以及周期性可控度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 大幅面 制造 光束 干涉 系统 | ||
【主权项】：
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