[发明专利]一种电铸制造超薄金属网栅的阳极结构和方法在审
| 申请号： | 202010918748.5 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111850618A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 明平美;张云燕;周涛;李士成;李欣潮;侯亚楠;王伟;肖友平;牛屾 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学;南通美精微电子有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;C25D17/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电铸制造超薄金属网栅的阳极结构和方法，属于电沉积加工领域。该阳极结构包括搅拌桨、嵌设于搅拌桨底部平面中心处的直线状超微阳极、紧密贴附于搅拌桨和直线状超微阳极外侧的柔性电绝缘层，其特征在于：柔性电绝缘层的贴附在搅拌桨底端平面上的部分设有等间距分布的通透窄缝，其将直线状超微阳极分为若干个超微阳极阵列，使单个超微阳极下输出的电流高度集中化和局域化。两个加工方向上的扫描沉积依次循环交替进行，进而使得不同方向上的多条平行带状金属层交叉堆叠形成类编织状金属网栅结构。本发明通过调整窄缝的宽度和间距来实现对金属网栅尺寸的调控，并通过协同控制阳极运行速度和电流密度来实现金属网栅的高品质高效制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电铸 制造 超薄 金属网 阳极 结构 方法 | ||
【主权项】：
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