[发明专利]真空泵有效
申请号: | 202010882284.7 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN112727787B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 田中晋悟 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/58 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 薛恒;王琳 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够在短时间内使泵主体的温度上升到所期望的温度的真空泵。真空泵(100)包括:泵主体(6);加热器(7),设置于泵主体(6);电源装置(1),对泵供给电力;冷却器(2),设置于泵主体(6)与电源装置(1)之间;连接板(4),设置于泵主体(6)与冷却器(2)之间;第一隔热板(3),配置于冷却器(2)与连接板(4)之间;以及第二隔热板(5),配置于泵主体(6)与连接板(4)之间。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
暂无信息
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