[发明专利]超声可调光谱干涉测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 202010876592.9 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112066901B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘世杰;张徐;周游;白云波;鲁棋;徐天柱 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B9/02015 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超声可调光谱干涉测量的测量装置和测量方法，测量装置包括超宽光谱激光光源、环形器、超声波发生器、换能器、铝板、布拉格光纤光栅、光纤微调整架、陷光器、扩束输出镜、分光棱镜、CCD相机、准直透镜、透射标准镜、待测元件和标准反射镜。超宽光谱激光光源产生宽谱光束，超声波发生器和换能器用于产生频率可调的超声波，铝板传递超声波对布拉格光纤光栅调制，光纤微调整架对光栅位置进行微调，环形器将宽谱光源与光栅反射光束分开，陷光器用于吸收光栅透射光，CCD相机用于记录干涉相位图。本发明在测量过程中，通过调整超声频率的大小即可实现光源相干长度的调节，从而可实现高平行度平板元件前后表面面形误差的快速同步的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 可调 光谱 干涉 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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