[发明专利]成像系统及成像镜头参数的确定方法在审
| 申请号： | 202010865151.9 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111880382A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 于向前;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张琳琳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光斑对准技术领域，具体涉及一种成像系统及成像镜头参数的确定方法。其中，成像系统包括：光源以及投影面，所述投影面上具有度量尺寸；成像镜头组件，形成在光源与投影面之间的光路上，光源发出的光经过成像镜头组件后在投影面上形成目标光斑；调节组件，与成像镜头组件连接，调节组件用于基于目标光斑与度量尺寸调节成像镜头组件的参数使得度量尺寸与目标光斑匹配，以确定成像镜头组件的参数；其中，参数包括成像镜头组件内透镜之间的距离，或成像镜头组件与光源之间的距离。本发明提供的成像系统，直接对照射至所述曝光芯片上的光斑进行调整，无需通过其他光学镜头，调整的精度更高、时长更短、光斑匹配的可靠性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 系统 镜头 参数 确定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏迪盛智能科技有限公司，未经江苏迪盛智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010865151.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
