[发明专利]高低温冲击系统在审
申请号: | 202010861858.2 | 申请日: | 2020-08-25 |
公开(公告)号: | CN114113957A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 郭伟;程铖;吴奇伟;尹彬锋 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R31/00 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 王江富 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种高低温冲击系统,搅拌风扇将气流产生器产生的气流搅拌后送到气罩内;测试板设置在气罩内;测试板包括2个测试卡座;测试卡座用于插接待测芯片;2个测试卡座的一侧分别附着有热电偶;2个热电偶的正负极之间的电压分别经数字转换器转换为第一数字温度值、第一数字温度值发送到微控制器;当第一数字温度值及第二数字温度值同当前目标温度的差值的绝对值均小于设定温差时,微控制器输出报警驱动信号到报警电路,驱动报警电路发出报警信号。本发明的高低温冲击系统,能准确快速确定高低温冲击气罩内温度是否稳定,使两颗测试芯片样品均能在规定温度下开始测试,能够准确测试获得芯片样品的真实参数。 | ||
搜索关键词: | 低温 冲击 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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