[发明专利]一种基于石墨烯的流速传感器光学芯片及其应用在审
| 申请号： | 202010855404.4 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111948423A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 邢飞;吴田鸽;李宗文;韩雪;田敬坤;姬广民 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | G01P5/26 | 分类号： | G01P5/26;B32B17/10;B32B27/28;B32B33/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 李稚婷 |
| 地址： | 255030 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯的流速传感器光学芯片及其应用。该光学芯片是在直角棱镜的底边一面粘贴有依次为石英玻璃/石墨烯膜/微流体通道介质层的多层膜耦合结构，所述微流体通道介质层在与石墨烯膜紧贴的一面具有微流体通道。通过该光学芯片实现了对流体流速的实时监测，由于石墨烯材料优异的光学特性与它对偏振光的依赖吸收特性，大大提高了传感器的时间和空间分辨率，也突破了其他流速传感器只能监测导电液体的流速的限制，可用于监测非导电液体的流速。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 流速 传感器 光学 芯片 及其 应用 | ||
【主权项】：
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