[发明专利]一种基于马兰哥尼对流操控的纳米孔阵列及其可控加工方法和应用在审
| 申请号： | 202010845505.3 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112079329A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 姚瑶;陈云;侯茂祥;陈燕辉;施达创;陈新;高健 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82B1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 彭玉婷 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳加工技术领域，公开一种基于马兰哥尼对流操控的纳米孔阵列及其可控加工方法和应用。该方法是在清洗的硅基底上光刻加工所需间距和孔径的纳米孔阵列掩膜板，将悬浮混合液滴在有掩膜板的硅基底上，然后将盖好载玻片的硅基底放在预热板上，调节50～80℃加热，产生马兰哥尼界面对流，贵金属颗粒被驱动流向掩膜板区域，通过CCD观察镜观察到掩膜板阵列区域被贵金属粒子填满为止；将硅基底取出后取下载玻片，去除表面掩膜后冲洗，得到硅片表面规整的贵金属纳米颗粒阵列；然后再滴入刻蚀液，清洗除去刻蚀液与贵金属纳米颗粒，得到纳米孔阵列。该方法克服了目前纳米孔阵列刻蚀技术所需的工艺试验工作量大，孔位难以调整等缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 马兰 对流 操控 纳米 阵列 及其 可控 加工 方法 应用 | ||
【主权项】：
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