[发明专利]手套箱内部自动防尘传输系统在审
| 申请号： | 202010845472.2 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111975818A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 董招生;王云飞;王雷;周军;吴清财;李建华;王淦龙;咸云飞;吴佰胜;徐洪飞;朱军;武茂浦;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏杰瑞信息科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02;B65G23/30;B65G23/04;B65G39/02;B65G39/09 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 刘喜莲;马强 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种手套箱内部自动防尘传输系统，该传输系统包括主支撑板和通过位置调节机构安装在主支撑板上的可调支撑板，在可调支撑板上横向安装有主驱动轴和用于驱动主驱动轴转动的动力机构，在主支撑板上纵向安装有若干与主驱动轴传动连接的从动轴，从动轴的两端分别延伸至主支撑板的两侧、并安装有用于石英基板传输的主传动轮，在主支撑板上还安装有若干与主传动轮配合的辅助支撑轮和导向装置。该传输系统设计合理、传输稳定，能够很好的满足在半导体芯片生产过程中手套箱内部传输时的传输平稳要求，并最大限度地减少了扬尘以及芯片传输过程中产生的微尘。 | ||
| 搜索关键词： | 手套 内部 自动 防尘 传输 系统 | ||
【主权项】：
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