[发明专利]一种超高真空下原位多功能样品处理装置有效
| 申请号： | 202010834599.4 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN111912688B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 雷霆霏;董金奎;王冰雷;何睿华;洪彩云 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) 32368 | 代理人： | 邱欢欢 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超高真空下原位多功能样品处理装置，包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室、第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台、第二样品托停放台和多工位样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述第二样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置位于所述真空腔室侧方并与所述多工位样品托停放台固定连接。其中本发明的有益效果是：同时在同一装置中能够实现机械解理二维材料、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能中任一种功能，本发明适普性高，便于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 原位 多功能 样品 处理 装置 | ||
【主权项】：
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