[发明专利]一种基于图像处理的光刻机自动对准方法

摘要

本发明公开了一种基于图像处理的光刻机自动对准方法，分为三个阶段：准备阶段，识别阶段，数据处理阶段。自动对准系统包含最下方的可移动的平台，及平台上的硅片。在准备阶段时，先拍摄一张只有掩模十字标记的图片，再拍摄一张已对准的图片，经处理提取硅片上的十字标记，在计算机中处理图片，并生成图片集并编号。在识别阶段时，先进行粗对准，再通过掩模上方的两路相机拍照获得图片，然后提取经掩模遮挡后硅片上的十字标记，与图片集进行异或操作，得到异或操作后图片的面积值A并对其进行处理。在数据处理阶段，通过对面积A和图片集编号的计算得到十字标记的偏离值并控制硅片移动。该方法具有对准效率高，方法简便等优点。