[发明专利]一种加工腔组件及激光加工装置有效
| 申请号： | 202010828591.7 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111975191B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 李纪东;侯煜;李曼;张喆;王然;张紫辰;张昆鹏;易飞跃;杨顺凯;王瑜 | 申请（专利权）人： | 北京中科镭特电子有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/70;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种加工腔组件及激光加工装置，该加工腔组件包括加工腔，在加工腔内固定有载物台。加工腔上设置有第一窗口，载物台上设置有通光孔，加工腔上还设置有第二窗口；第一窗口、通光孔及第二窗口至少部分位置相对，以使激光的光束能够从第一窗口入射到加工腔内，之后穿过通光孔并通过第二窗口射出加工腔。还包括设置在加工腔外且与第二窗口相对的第一测量仪组件，第一测量仪组件对从第二窗口射出加工腔的光束进行测量分析。载物台上放置工件前，激光光束依次穿过第一窗口、通光孔及第二窗口后，第一测量仪组件对激光的光束进行测量分析。无需在加工腔内设置反射镜，减少加工腔内的结构，将加工腔的容积做的足够小，缩短气体置换时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 组件 激光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科镭特电子有限公司，未经北京中科镭特电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010828591.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：薄膜体声波谐振器及其制作方法
- 下一篇：一种主板、主板资源共享方法
