[发明专利]体声波谐振器在审
| 申请号： | 202010828584.7 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN112003581A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 黄韦胜;林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：衬底，以及依次设于所述衬底上的反射结构、底电极、压电层和顶电极；所述体声波谐振器包括谐振区，所述谐振区包括边缘区，所述边缘区中设有至少一个空腔，且每个空腔的顶部和/或底部位于所述压电层的内部。本发明能够避免侧向波在共振时形成寄生模态，降低侧向波的能量泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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