[发明专利]一种植入式神经光电极的后端连接结构及其制备方法有效
申请号: | 202010819615.2 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN112099160B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 陶虎;顾驰;魏晓玲;周志涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G02B6/42 | 分类号: | G02B6/42;A61B5/37;A61B5/372;A61B5/377;A61B5/388;A61B5/293;A61B5/294 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种植入式神经光电极的后端连接结构及其制备方法,其结构包括:柔性轻质塑料基板;光纤支架,内设有光纤,光纤支架以预设角度固定在柔性轻质塑料基板上;光电极探针后端,包括后端硅衬底以及设在后端硅衬底上的输入光栅,后端硅衬底与柔性轻质塑料基板粘接连接,输入光栅与光纤的输出端耦合连接,后端硅衬底上还设有第一焊盘;PCB板,设有第二焊盘,第二焊盘与第一焊盘一一对应,PCB板与后端硅衬底焊接连接。本发明提供的后端连接结构基于光栅耦合引入光信号,能降低对准精度的要求且简化对准操作流程;基于倒装焊接PCB电路板和探针后端焊盘,减少了焊盘间引线长度,从而减小连接电阻和寄生电容,提高了采集的电生理信号的信噪比。 | ||
搜索关键词: | 一种 植入 神经 电极 后端 连接 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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