[发明专利]晶体定向磨料有序排布的金刚石砂轮制备方法有效
| 申请号： | 202010815505.9 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111941300B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 毛聪;张德嘉;胡永乐;李长河;隆鹏;刘超;王佳丽;唐伟东 | 申请（专利权）人： | 长沙理工大学 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;C23C16/44;C23C16/04;C23C16/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410114 湖南省长沙市天*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体定向磨料有序排布的金刚石砂轮制备方法。采用光刻技术制备控形薄膜，将其贴敷于基体外圆周面，并均匀喷涂金刚石微粉作为后续沉积用的金刚石种子；采用EACVD技术对金刚石种子沉积一层无定形碳，为后续合成的金刚石磨粒进行晶体定向；调整沉积参数，磨粒成核生长，形成顶面为{100}晶面、侧面为{111}晶面、出刃高度较大的金刚石磨粒，且与无定形碳和金刚石结合层构成一个微型磨削单元，多个微型磨削单元按照控形薄膜的光刻图案有序排布；超声波清洗去除控形薄膜，大量微型磨削单元之间的空隙即为微流道，烘干即得到砂轮成品。本发明可以对金刚石磨粒进行晶体定向，并使得磨料能够有序排布，显著提高了砂轮的磨削性能。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 定向 磨料 有序 排布 金刚石砂轮 制备 方法 | ||
【主权项】：
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