[发明专利]带导热结构的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 202010785106.2 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN112039487B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;班圣光;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法，该谐振器包括基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：所述底电极的至少一部分的外端处于所述声学镜的边界的外侧；在所述声学镜的边界的外侧，所述基底中沿所述声学镜设置有导热结构，所述导热结构适于与所述底电极的对应部分的下表面热接触。本发明还涉及一种滤波器和一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 导热 结构 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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