[发明专利]一种抛光装置有效
| 申请号： | 202010770300.3 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN112059897B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐俊成;尹影;庞浩;江伟 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘林涛 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光装置，属于半导体加工设备技术领域，包括：抛光盘，抛光垫；所述抛光垫上方设有活化器，所述活化器适于与抛光垫接触摩擦；换能器，设于抛光盘与抛光垫之间，所述换能器作用在所述抛光垫上；超声波发生器，与所述换能器相连接；本发明提供的抛光装置，换能器可以将输入的电功率转换成机械功率即超声波传递至抛光垫上，使抛光垫上的液体发生空化作用，空化作用可以释放能量，同时可产生一定的冲击速度，这种冲击作用可对抛光垫上嵌入的微小颗粒造成破坏，达到微小颗粒从抛光垫表面剥离的效果，可以延缓抛光垫发生釉化，减少活化器的使用，增加抛光垫和活化器的研磨部分等耗材的使用周期，进而减少设备使用和维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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