[发明专利]一种基于双波长干涉的超高精度面形测量方法在审
| 申请号： | 202010766265.8 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN111998790A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘锋伟;吴永前;肖向海;陈小君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双波长干涉的超高精度面形测量方法，属于光学检测领域。该方法在菲索干涉仪的基础上引入两个不同中心波长的可调谐激光器。对同一被测镜进行干涉测量时，通过计算两个不同波长的激光器移动相同的相位(比如pi/2)所分别需要的电压来对两台可调谐激光器进行同步移相。利用等步长/定步长相移算法处理所得到的若干帧组合干涉条纹即可得到一个较短合成波长下的相位。通过相位解包裹算法可恢复出最终面形数据。与单一波长干涉仪相比，这类双波长干涉仪具备更敏锐的细节分辨本领，所测得的面形数据信噪比更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波长 干涉 超高 精度 测量方法 | ||
【主权项】：
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