[发明专利]一种新型的铜面粗糙度咬蚀稳定剂及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010765969.3 申请日: 2020-08-03
公开(公告)号: CN112064026A 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 朱德甫 申请(专利权)人: 罗山县金硕电子材料有限公司
主分类号: C23F1/18 分类号: C23F1/18;H05K3/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 464200 河南省信阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种新型的铜面粗糙度咬蚀稳定剂及其制备方法,该咬蚀稳定剂包括硫酸3‑10%、双氧水3‑8%、双氧水稳定剂0.5‑1%、缓蚀剂1‑3%、微蚀稳定剂3‑5%、去离子水75‑90%,本发明添加稳定剂能够显著抑制咬蚀稳定剂中双氧水的自分解,提高本发明咬蚀稳定剂的使用稳定性和延长保质期,且通过添加含N杂环化合物,在进行蚀刻时,可在电流密度高的地方进行有效吸附,有利于金属离子在电流密度较低的地方沉积,从而使得板面凹处变得整平。
搜索关键词: 一种 新型 粗糙 度咬蚀 稳定剂 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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