[发明专利]一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备有效
| 申请号： | 202010743608.9 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112095088B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李王俊;曹新民;张斌;王凤明 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 韦超峰 |
| 地址： | 215212 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备，涉及真空镀膜技术领域。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，通过两路抽真空管道分别对腔体、阴极内腔进行抽真空，能够快速把残留的工艺气体抽干净，为通入新的工艺气体做好准备，极大地缩短切换工艺气体的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 切换 镀膜 工艺 气体 方法 设备 | ||
【主权项】：
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