[发明专利]一种用于液相外延工艺的可调式石墨舟在审
| 申请号： | 202010740752.7 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111876825A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 杨海燕;刘铭;曹鹏飞;折伟林;郝斐 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于液相外延工艺的可调式石墨舟，本发明是在液相外延工艺中，利用带有可调节尺寸的石墨框的母液槽和衬底槽的一套石墨舟实现多种尺寸的薄膜材料的制备，该设计使得外延工艺没有尺寸上的限制，有效避免了由于石墨舟更换、工艺参数改变造成的外延材料质量不一致性和外延工艺的不稳定性。同时，利用以上设计可形成不同尺寸材料外延的标准工艺。同时本发明还可有效提高石墨舟的利用率和外延工艺的一致性，降低由于外延材料尺寸变化带来的石墨舟更换和外延工艺参数的变化，提升外延出不同尺寸材料的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外延 工艺 调式 石墨 | ||
【主权项】：
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