[发明专利]单晶炉停炉预防热场损坏方法在审
| 申请号： | 202010731096.4 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111826707A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 赵贝;李增卫;赵群 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙新能源有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 054000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶炉停炉预防热场损坏方法，方法包括步骤1，石英坩埚内有剩料熔融硅液时，拉制晶体，晶体的第一长度进入水冷热屏；步骤2，晶体拉制到第二长度后，停止拉制晶体，且晶体的一端与熔融硅液液面接触；步骤3，在晶体静止后，单晶炉底部的副加热器加热功率下降为零；步骤4，单晶炉四周的主加热器分三个阶段降低功率，直至主加热器加热功率下降为零；步骤5，冷却一定时间后拆单晶炉。根据本发明实施例的方法，能够拉制一定长度单晶增大迁热体积，加快石英坩埚中部熔融硅液凝结速度，降低了应力集中度，单晶炉上加热器阶梯式停止加热，减缓石英坩埚四周硅凝结速度，让出应力释放区，从而最大限度的保证热场的完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉停炉 预防 损坏 方法 | ||
【主权项】：
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