[发明专利]一种批量转移石墨烯至载网铜衬底的装置及方法有效
| 申请号： | 202010727856.4 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111847437B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡金明;陈其赞;郝振亮;梁洁园;萧文秋 | 申请（专利权）人： | 广东墨睿科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450 | 代理人： | 李林学 |
| 地址： | 523600 广东省东莞市道滘镇万道路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及石墨烯技术领域，一种批量转移石墨烯至载网铜衬底的装置，包括由聚四氟乙烯制作的负载盘及负载盘底座；所述负载盘具有矩阵排列（线性矩阵或圆周矩阵）或无规则排布的载网铜衬底负载孔，所述负载孔的下部设置有与该负载孔同轴、直径小于负载孔、贯通负载盘的导出孔；所述负载盘底座设置有与导出孔等量、同轴且相互匹配的支撑柱。一种批量转移石墨烯至载网铜衬底的方法，包括以下步骤，在生长有石墨烯的铜箔表面旋涂PMMA溶液、固化、预刻蚀、刻蚀、漂洗、去膜；应用本发明的装置和方法，可以批量转移石墨烯至载网铜衬底，操作简便，可根据实际需求对转移工艺和装置进行修改设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 转移 石墨 烯至载网铜 衬底 装置 方法 | ||
【主权项】：
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