[发明专利]一种用于生理信息传感的柔性基材及其制造方法

摘要

一种用于生理信息传感的柔性基材及其制造方法，涉及柔性传感基材。柔性基材从下至上依次为支撑层、缓冲层和结构层；支撑层为柔性薄层材料制备而成，在支撑层上设有多孔微纳结构缓冲层，在缓冲层上设有用于承载传感器件的可自黏附于皮肤表面的超薄结构层；缓冲层设有加强筋连接结构，用于加强柔性基材整体刚度。先采用倒模工艺制备支撑层；再采用微纳制造工艺在支撑层上制备缓冲层以及加强筋连接结构；在缓冲层上沉积结构层。在结构层上构建光电脉搏波、表面肌电和体温等薄膜传感单元与互联导线，通过信号采集和分析，实现生理信息高精度、高保真精准监测。微纳特征结构缓冲层使结构层保持与人体皮肤完好、舒适共形，保证生理信号高精度采集。