[发明专利]声谐振器装置有效
| 申请号： | 202010724620.5 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112564669B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | R·鲁比;S·吉尔伯特;D·阿奇博尔德 | 申请（专利权）人： | 安华高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/58 | 分类号： | H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开尤其提供一种声谐振器装置。所公开声谐振器装置的一个实例包含：衬底，其具有载体层；第一层，其安置在所述载体层之上；和压电层，其安置在所述第一层之上。还公开所述声谐振器装置包含：叉指形金属，其安置在所述压电层之上，其中所述叉指形金属配置成在声学有源区内产生声波。进一步公开所述声谐振器装置包含声波散射结构。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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