[发明专利]一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统在审
申请号: | 202010722330.7 | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN111983814A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 邱洪荣;金浩程 | 申请(专利权)人: | 常州市奥普泰克光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09 |
代理公司: | 常州格策知识产权代理事务所(普通合伙) 32481 | 代理人: | 徐静 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接,第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距,微透镜包括第一微透镜和第二微透镜,第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。通过上述方式,本发明采用三片球面镜对激光光束进行准直,再经过两片微透镜阵列在Y轴方向聚焦成线性光。三片球面镜对激光发散角进行压缩准直,微透镜阵列在Y方向对准直后的光束进行会聚,而对X方向的光束进行发散,最终在工作面上形成长度为180‑200mm,宽度为0.6‑0.8mm的线性光斑,相邻微透镜阵列之间重合光斑区域5mm,重叠光斑优化完成均匀度在90%左右。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 电池板 硅基片 表面 检测 用光 系统 | ||
【主权项】:
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