[发明专利]超声悬浮旋转式微通道板腐蚀方法有效
| 申请号： | 202010720106.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111863582B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张正君;李涛;丛晓庆;李婧雯;乔芳建;邱祥彪;毛汉祺;牛鹏杰;张欢;赵慧民 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J43/24 | 分类号： | H01J43/24;H01J9/12 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松;王菊花 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声悬浮旋转式微通道板腐蚀方法，包括以下步骤：将冷加工处理后的毛坯件导入夹具；将夹具依次放入无水乙醇和水中超声清洗；将清洗后的夹具交替放入酸槽和碱槽中进行超声悬浮旋转腐蚀，并控制酸槽和碱槽的反应温度和反应时间，得到微孔阵列微通道板。本发明的腐蚀方法得到的微通道板内壁形貌和表面质量好，提高微通道板的使用寿命和增益，且腐蚀时间少，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 悬浮 旋转 式微 通道 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
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