[发明专利]成膜装置及成膜方法在审
| 申请号： | 202010716476.0 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN112553581A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 大潭笃史 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种获得能够以更高的膜厚精度形成薄膜的成膜对象物的运送速度的技术。成膜方法以横穿靶的方式相对于靶相对地运送成膜对象物，并通过对靶进行溅射的连续溅射，在成膜对象物上形成膜。成膜方法具有测量工序、保存工序、速度确定工序以及成膜工序。在测量工序中，预先测量成膜对象物的运送速度的倒数与成膜对象物上形成的膜的膜厚之间的对应关系。在保存工序中，保存对应关系。在速度确定工序中，根据膜厚的目标值与该对应关系，确定运送速度。在成膜工序中，以在速度确定工序中确定的运送速度运送成膜对象物，并通过连续溅射在成膜对象物上形成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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