[发明专利]一种匀胶显影机增粘单元有效
| 申请号： | 202010714213.6 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111708259B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 叶建蓉 | 申请（专利权）人： | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05B15/65;B05B13/02 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 石红丽 |
| 地址： | 334000 江西省上*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种匀胶显影机增粘单元，属于光刻设备技术领域，包括底盘、上盖、喷淋装置以及支撑盘，所述底盘和上盖上均设置有加热装置，所述上盖位于底盘的上端且与底盘配合形成真空腔，所述底盘的底部设置有真空泵接口，所述喷淋装置设置在上盖内，所述支撑盘设置在底盘内用于支撑晶圆，所述支撑盘与底盘转动连接且通过电机驱动转动，所述喷淋装置包括整流板、喷管、喷头和连接管，所述喷管在水平面内呈螺旋形布置。本发明装置可以解决现有技术中采用液态引入HMDS时，增粘效果差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 机增粘 单元 | ||
【主权项】：
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