[发明专利]老炼测试设备在审
| 申请号： | 202010712467.4 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113970672A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王延政;周培;周军;詹超;石彬彬;宫鹏鹏;季培成 | 申请（专利权）人： | 上海复旦微电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陆磊 |
| 地址： | 200433 上海市杨浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种老炼测试设备，包括：具有多层第一平台的支架；可拆卸地设置于多层第一平台中的每一层第一平台的机箱，机箱由支架支撑；设置于机箱内的至少一个老炼插槽；其中，至少一个老炼插槽中的每一个老炼插槽均包括至少一个温区子模块，至少一个温区子模块中的每一个温区子模块均用于对待测器件进行老炼测试。与现有技术相比，本发明实施例提供的老炼测试设备具有敞开式的货架结构，将老炼负载板插入货架结构每一层的老炼插槽内即可实现对待测器件的老炼，待测器件数量不受传统烘箱的容积限制，极大地提高了单批次老炼测试中待测器件的数量和场地的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 | ||
【主权项】：
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