[发明专利]耐磨与抗菌兼具的Cr-Mo-Ag-Si-C-N多元复合薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种耐磨与抗菌兼具的Cr‑Mo‑Ag‑Si‑C‑N多元复合薄膜的制备方法，属于表面工程以及摩擦学领域。其步骤：1)将基材安装在镀膜仪内的样品台，使用Ar离子束轰击清洗和活化基底表面；2)通入Ar气，旋转样品台，利用镀膜仪沉积约为0.2μm的Cr过渡层；3)通入Ar气和N2气，在Cr过渡层上沉积CrN梯度层；开启Mo靶直流电源，逐渐提高Mo靶溅射电流，在CrN梯度层上沉积CrMoN梯度层；4)通入Ar气、N2气和三甲基硅烷气体，开启Ag靶电源，固定各靶溅射电流，在CrMoN梯度层上制备CrMoAgSiCN多元复合薄膜。本发明通过改变Ag靶溅射电流，获得具有不同微结构，优异的力学性能和自润滑特性，良好的耐腐蚀性、耐磨性和抗菌性能的Cr‑Mo‑Ag‑Si‑C‑N多元复合薄膜。