[发明专利]一种用于PVD涂层炉的循环水冷系统及其清洗方法在审
申请号: | 202010701484.8 | 申请日: | 2020-07-20 |
公开(公告)号: | CN112063987A | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 朱瑞源;黄为民;胡彩南 | 申请(专利权)人: | 江西江钨硬质合金有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54;C23G1/08;C23G3/04 |
代理公司: | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人: | 张文宣 |
地址: | 336000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明涉及硬质合金数控涂层刀片的PVD涂层炉沉积技术领域,具体公开了一种用于PVD涂层炉的循环水冷系统及其清洗方法。该系统包括内循环水冷却系统、外循环冷冻水系统和换热器;所述的内循环水冷却系统,包括内循环水冷却管、水泵、管道控制阀,并在高位设有一个高位补水箱;所述的外循环冷冻水系统,包含外循环冷冻水管和气动调节阀;所述的内循环水冷却系统通过换热器与所述的外循环冷冻水系统进行热交换。本发明采用内循环冷却水和外循环冷冻水,通过气动调节阀和换热器,使循环水冷系统中的冷却水,能够充分满足PVD涂层炉各分支的温度冷却需求;本发明在高位设置一个离子水补水箱,保证了内循环冷却水正常运转。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 pvd 涂层 循环 水冷 系统 及其 清洗 方法 | ||
【主权项】:
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