[发明专利]一种用于PVD涂层炉的循环水冷系统及其清洗方法在审

专利信息
申请号: 202010701484.8 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN112063987A 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 朱瑞源;黄为民;胡彩南 申请(专利权)人: 江西江钨硬质合金有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/54;C23G1/08;C23G3/04
代理公司: 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 代理人: 张文宣
地址: 336000 *** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及硬质合金数控涂层刀片的PVD涂层炉沉积技术领域,具体公开了一种用于PVD涂层炉的循环水冷系统及其清洗方法。该系统包括内循环水冷却系统、外循环冷冻水系统和换热器;所述的内循环水冷却系统,包括内循环水冷却管、水泵、管道控制阀,并在高位设有一个高位补水箱;所述的外循环冷冻水系统,包含外循环冷冻水管和气动调节阀;所述的内循环水冷却系统通过换热器与所述的外循环冷冻水系统进行热交换。本发明采用内循环冷却水和外循环冷冻水,通过气动调节阀和换热器,使循环水冷系统中的冷却水,能够充分满足PVD涂层炉各分支的温度冷却需求;本发明在高位设置一个离子水补水箱,保证了内循环冷却水正常运转。
搜索关键词: 一种 用于 pvd 涂层 循环 水冷 系统 及其 清洗 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西江钨硬质合金有限公司,未经江西江钨硬质合金有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010701484.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top